İLERİ TEKNOLOJİ ARAŞ. UYGULAMA MRKZ. MÜD.
TEM

JEOL JEM-2100 (UHR)

 

Sistem Özellikleri (UHR – Ultra High Resolution)

 

Geçirimli Elektron Mikroskobu veya TEM (Transmission Electron Microscope) çok ince bir örnek içinden geçirilen yüksek enerjili elektronların görüntülenmesi prensibine dayanır. Elektronların örnek ile etkileşimleri sonucu oluşan görüntü büyültülür ve floresans ekran, fotoğrafik film katmanı ya da CCD kamera gibi bir sensör üzerine odaklanır.

Max Knoll ve Ernst Ruska tarafından 1930'larda yapılan çalışmaların sonucu ortaya çıkan geçirimli elektron mikroskobu, optik mikroskoba kıyasla çok daha küçük ayrıntıları görmeye olanak tanır.

 

Cihazımızda;

STEM ve EDS dedektörleri ile GATAN marka kamera bulunmaktadır.

Configuration

Ultrahigh resolution*1
(UHR)

High resolution*1
(HR)

High specimen tilt*1
(HT)

Cryo*1
(CR)

High contrast*1
(HC)

Resolution(nm)

 Point

0.194

0.23

0.25

0.27

0.31

 Lattice

0.14

0.14

0.14

0.14

0.14

Acc. Voltage

80,100,120,160,200 kV

 Minimum step

50 V

Stability

 Acc. Voltage

2×10-6/min

 OL Current

1×10-6/min

Optical parameters for objective lenses

 Focal length

1.9 mm

2.3 mm

2.7 mm

2.8 mm

3.9 mm

 Spherical aber. coeff.

0.5 mm

1.0 mm

1.4 mm

2.0 mm

3.3 mm

 Chromatic aber. coeff.

1.1 mm

1.4 mm

1.8 mm

2.1 mm

3.0 mm

 Minimum focal step

1.0 nm

1.5 nm

1.8 nm

2.0 nm

5.2 nm

Spot Size ( in diameter)

 TEM mode

20~200 nm

1 to 5 μm

 EDS mode

0.5 to 25 nmφ
α selector

1.0 to 25 nmφ
α selector

1.5 to 35 nmφ
α selector

2.0 to 45 nmφ
α selector

10 to 500 nm

 NBD mode

 CBD mode

CB Diffraction

 Convergent angle
(2α)

1.5 to 20 mrad or more

-

-

 Acceptance angle

±10°

-

-

Magnification

 MAG mode

×2,000 to 1,500,000

×1,500 to 1,200,000

×1,200 to 1,000,000

×1,000 to 800,000

 LOW MAG mode

×50 to 6,000

×50 to 2,000

 SA MAG mode

×8,000 to 800,000

×6,000 to 600,000

×5,000 to 600,000

×5,000 to 400,000

Camera length

 SA diff.(mm)

80 to 2,000

100 to 2,500

150 to 3,000

 HD diff.(m)

4 to 80

Specimen driving system

 Tilting angle
 X / Y*2

±25/±25°

±35/±30°

±42/±30°

±15/±10°

±38/±30°

 Tilting angle
  X*3

±25°

±80°

±80°

±80°

±80°

 Shift(mm)

2 (X,Y)
0.2 (Z±0.1 mm)

2 (X,Y)
0.4 (Z±0.2 mm)

EDS*4

 Solid angle
 (30mm2/50mm2)

0.13sr/0.24sr

0.13sr/0.28sr

0.13sr/0.23sr

*5

0.09sr/-

 Take-off angle
 (30mm2/50mm2)

25°/22.3°

25°/24.1°

25°/25°

*5

20°/-


*1 : Specify either configuration (UHR, HR, HT, CR or HC) when ordering the JEM-2100.
*2 : With a specimen tilting holder
*3 : With a high-tilt specimen holder
*4 : An optional EDS is required.
*5 : Unavailable to install EDS.

 

EDS Dedektörü (Oxford X-MAX 80-T)