İLERİ TEKNOLOJİ ARAŞ. UYGULAMA MRKZ. MÜD.
AFM - PROFİLOMETRE

ATOMİK KUVVET MİKROSKOBU

Marka: NT-MDT

Model: AFM NTEGRA Solaris

Atomik kuvvet mikroskobu (AFM), çok yüksek çözünürlüklü bir taramalı kuvvet mikroskobudur. Bir materyal yüzeyinin nanoölçekte topografik, optik, elektriksel veya manyetik incelenmesinde kullanılan sistem üzerinde, 440 nm dalga boyunda lazere sahip SNOM ünitesi yanında biyolojik örnekler için sıvı içinde tarama yapabilen tarayıcı içermektedir. Öte yandan, topografik analizler için sırasıyla 1, 10 ve 100 mikrometrelik tarayıcılar mevcuttur.  Atomik kuvvet mikroskobunda temaslı (contact) ve temassız (non-contact) olmak üzere iki ana teknik kullanılmaktadır. Özellikle temassız ölçümde kantileverin ucundaki iğne titreşim hareketi yaptığı için yumuşak yüzeylerde daha yaygın kullanılır. Yüzey yapısının topografi dışında farklı özelliklerini incelemek için AFM sistemi üzerinde Taramalı Tünelleme Mikroskobu (STM), Manyetik Güç Mikroskobu (MFM), Kelvin Probe, Yanal Kuvvet Mikroskobu (LFM), Elektrostatik Kuvvet Mikroskobu (EFM) ve Yakın Alan Taramalı Optik Mikroskop (SNOM) tekniklerine dayalı görüntü ve analizlere olanak sağlamaktadır. Ayrıca malzemenin çizilmesi veya oksitlenmesi gibi yöntemler kullanılarak nanolitografik işlemler de yapılabilmektedir.  Ayrıca, sıcaklık (-25°C - 250°C) modunda çalışma imkanı sunmaktadır.

 

PROFİLOMETRE

Marka: AEP

Model: Nanomap - 500LS

Yüzeyde gezdirilen 2,5 µm hassasiyetindeki prob sayesinde, 500 µm - 150mm tarama aralığı ile 2D ve 3D görüntüleme sunmaktadır. Kalın ve ince filmlerin yüzeyleri  ( pürüzlülük, dalgalanmalar, yüzey hataları) hakkında bilgi vermenin yanı sıra adım yüksekliği ve adım aralığını yüksek çözünürlükte ölçebilmektedir.